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多弧离子镀膜机的核心技术是它的电弧蒸发源,多弧离子镀膜机的蒸发源是一种比较特殊的冷阴极电弧放电的自蒸发、自电离式的一种固体型蒸发源。
所谓多弧离子镀膜机就是用多个电弧蒸发源为核心的一种离子镀膜设备,通常又叫多弧镀膜、弧镀、电弧镀膜等。相较于其他镀膜工艺,它具备的优势有:
机械整体简单、设备生产效率高、工作周期短、适合大批量的工业化生产。
较大的镀膜空间。 电弧蒸发源为固态,可灵活放置,所以工件在装卡更换时更加简单,无需附加加热器使用。
工艺范围广。适合在较高真空或较低环境温度(200?C)下做反应镀、离子镀。
具备优异的膜性能。工件的轰击加热、清洁和沉积交由离化金属等离子体轰击完成,实现“一弧三用”,且膜层结构致密性高,膜层与镀件牢固结合。
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