大家整理了有关真空镀膜设备维修保养的几大技巧

真空镀膜机设备的镀膜效果与真空镀膜设备的维护保养密切相关的, 维护保养的好坏直接影响镀膜效果的好坏, 为了使设备运行状况良好必须做好定期的维护保养工作
　　(1) 扩散泵在重新开机前, 要注意检漏工作.
　　扩散泵连续使用6个月以上, 抽速明显变慢, 或操作失当, 充入大气, 拆去联结水管, 卸下电炉盘, 将一级喷嘴拧出, 先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍, 再用洗衣粉兑水清洗一遍, 然后用清水彻底清洗干净, 待水份挥发干以后装好泵胆, 加入新扩散泵油, 并装回机体, 接好水管, 装好电炉盘, 便可以重新开机.
　　方法是: 启动维持泵, 关好大门, 数分钟后, 观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕, 否则要进行检漏. 检查联接处是否装密封胶圈, 或压坏密封圈.排除漏气隐患后方可加热, 否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态.
　　(2) 当粗抽泵(滑阀泵, 旋片泵)连续工作一个月(雨季减半), 需更换新油.
　　方法是: 拧开放油螺栓, 放掉旧油, 再将泵启动数秒, 使泵内的旧油完全排放出来, 拧回放油螺栓, 加入新油至额定量(油视镜观察). 连续使用半年以上, 换油时应将油盖打开, 用布擦干净箱内污垢.
　　(3) 真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上, 应清洁工作室一次.
　　方法是: 用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁, ( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液, 以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应, 反应后膜层脱落, 并释放出氢气. 再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢.
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